清洗介质： 采用超声波清洗，一般有两种清洗剂：化学清洗剂和水基清洗剂。清洗介质是化学作用，而超声波清洗是物理作用，两种作用相结合，以对物体进行充分、的清洗。
功率密度：超声波的功率密度越高，空化效果越强，速度越快，清洗效果越好。单对于精密的、表面光洁度甚高的物体，采用长时间的高功率密度清洗会对物体表面产生“空化”腐蚀。
超声波频率：超声波频率越低，在液体中产生空化越容易，作用也越强。频率高则超声波方向性强，适合于精细的物体清洗。
在使用水做为主体的超声溶液时，由于空化作用引起的物理清洗力对低频有利，一般用20kHz～45kHz的超声波。
温度： 一般来说，超声波在30℃~40℃时空化效果。清洗剂则温度越高，作用越显著。通常实际应用超声波清洗时，采用30℃~60℃的工作温度。 被清洗物品的位置 ：物品表面接近并面向发生器时，清洗质量。
被清洗工件声学特性 ：吸声大的物体如橡胶、布料等用超声波清洗效果差，而对声波反射强的材料如金属、玻璃制品清洗效果较好。
